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怎样避免靶面电弧(打火)的产生?

电弧的危害是什么?


电弧发生时,如果不加处置,一定伴随着靶面上某一点上极高的电流密度,这将引起该点上的高温小范围内将靶材融化并喷射出来,导致损坏靶材及基片。同时,抑弧关断又会对稳定工艺造成影响。

如何避免电弧发生?


电弧的发生取决于靶材种类、腔室环境及工艺等多种因素,难以绝对避免电弧发生。

合理的腔室及溅射系统设计、良好的靶材性能及靶面清洁等,这些措施会对减少电弧的发生起到关键性作用。

电弧出现后,如何减少电弧造成的影响?


1)为了减少打弧产生的危害,通常采取的措施是在打弧发生之后,对电源进行关断,抑制打弧电流的上升;并使等离子体在电源恢复输出后,快速重新回到正常的工作状态

2)用合适的检测方式,快速准确的检测到电弧,在电流上升到到较高值之前进行关断对于减少电弧危害至关重要。

3)关断后通过电路设计,在更短的时间进行有效抑弧,减少对工艺的影响。


那么多种打弧检测方式,哪种检测方式最好?

实际上不同的检测方式针对不同的工艺情况、不同类型的电弧以及不同的等离子状态。很难说哪一种最好。但随着电子技术的发展,全数字式的运算和更高精度的采样,为更精确的打弧检测方式的实现提供了可能。


怎样理解电弧能量的概念?

电弧能量反映了电源从电弧发生后,检测到电弧,采取关断措施,到电弧熄灭着整个过程中电弧释放的能量。

减少打弧能量要求电源在电弧形成最初的时候就需要准确可靠的检查到电弧,更快的采取措施,同时在关断后更快速的尽快。

 

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